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Intensive Zusammenarbeit mit der SCHOTT AG

19.07.2021

Professor Roy Knechtel

Prof. Dr. Roy Knechtel ist Stiftungsprofessor der Carl-Zeiss-Stiftung für autonome intelligente Sensoren und befasst sich im Rahmen der Sensortechnologie mit Glas-Wafern. Seit 2020 arbeitet er im Bereich der bondbaren Glassubstrate eng mit dem Glasspezialisten SCHOTT zusammen.

Sensoren haben unser Leben maßgeblich verändert und Mikrosensoren, wie z.B. Drucksensoren und Inertialsensoren, sind heutzutage quasi überall anzutreffen. Sie werden in Autos, Maschinen, in der Raumfahrt, der Medizintechnik, der Industrietechnik und in Robotern verwendet. Mikroelektromechanische Systeme – kurz MEMS – sind zudem die Sinnesorgane moderner Fahrzeuge. Sie versorgen die Steuergeräte im Fahrzeug mit wesentlichen Informationen zum Fahrverhalten, beispielsweise ob es gerade bremst oder beschleunigt und sich auf glatter Fahrbahn dreht. Sensoren sind jedoch hochempfindliche elektronische Komponenten, die zur Sicherstellung ihrer optimalen Funktion über die gesamte Einsatzzeit sicher vor ungewollten äußeren Einflüssen geschützt werden müssen.

Hierbei kommt in der der modernen Mikrosystemtechnik Wafern aus Glas eine besondere Bedeutung zu. Glas bietet zahlreiche Vorteile wie hohe chemische und thermische Beständigkeit, eine gute elektrische Isolierfähigkeit, Biokompatibilität sowie einen breiten optischen Einsatzbereich. Zudem können bestimmte Gläser mit dem Verfahren des anodischen Bondes mit Siliziumwafern gefügt werden, wodurch sich die oben angeführte Schutzfunktion für mechanisch empfindliche Mikrosysteme sehr gut und vor allem sicher realisieren lässt.  Aufgrund dieser Eigenschaften finden Glaswafer in konventionellen Mikrofabrikationsprozessen breite Anwendung. Hier setzt die Zusammenarbeit der Hochschule Schmalkalden mit dem Stiftungsunternehmen SCHOTT an.

 „Glaswafer sind für die siliziumbasierte Mikrosystemtechnik eine interessante und überaus wichtige Ergänzung. Ihre optische Transparenz in Verbindung mit den weiteren vorteilhaften physikalischen Eigenschaften von Gläsern und insbesondere der Möglichkeit sie ohne Verbindungsschichten direkt mit Siliziumwafern durch anodisches bonden fest und hermetisch dicht zu fügen, ermöglicht vielfältige Einsatzmöglichkeiten. Um dieses Potential voll zu erschließen, sollen in der gemeinsamen Forschung die Zusammenhänge von neuen Glasbearbeitungsmethoden, Bondverfahren und Anwendungsszenarien detailliert untersucht, verstanden und beschrieben werden“, so Prof. Roy Knechtel. 

„Die Entwicklung und Bereitstellung von Spezialglas – Wafern, welche den Erfordernissen des Packagings zukünftiger Sensoren genügen, erfordert ein tiefes interdisziplinäres Verständnis für deren Integration in halbleitertypische Prozessketten sowie der Endapplikation. Die Hochschule Schmalkalden,  Professor Roy Knechtel und SCHOTT ergänzen sich in idealer Weise mit Blick auf die Realisierung von neuen und innovativen MEMS basierten Sensorlösungen“ so Dr. Ulrich Peuchert, Product und Business Development Manager Special Flat Glass & Wafer bei der SCHOTT AG.    

Ein Interview mit Prof. Roy Knechtel können Sie auf folgender Webseite lesen: https://microsites.schott.com/pressuresensors/english/index.html

 


Über SCHOTT

Pioneering – responsibly – together.

Diese Attribute charakterisieren SCHOTT als Hersteller von High-Tech-Werkstoffen rund um Spezialglas. Gründer Otto Schott gilt als dessen Erfinder und wurde Wegbereiter einer ganzen Industrie. Mit Pioniergeist und Leidenschaft immer neue Märkte und Anwendungen zu erschließen – das treibt die #glasslovers von SCHOTT seit über 130 Jahren an. Präsent in 34 Ländern ist das Unternehmen kompetenter Partner für Hightech-Branchen: Gesundheit, Hausgeräte & Wohnen, Consumer Electronics, Halbleiter & Datacom, Optik, Industrie & Energie, Automotive, Astronomie, Luft- und Raumfahrt. Im Geschäftsjahr 2020 erzielten die 16.500 Mitarbeiter einen Umsatz von 2,24 Milliarden Euro. Mit den besten Teams, unterstützt durch die besten digitalen Tools, will der Konzern weiter wachsen. Die SCHOTT AG gehört der Carl-Zeiss-Stiftung, einer der ältesten Stiftungen in Deutschland. Mit der Dividende des Konzerns fördert sie die Wissenschaft. Als Stiftungsunternehmen hat SCHOTT die Verantwortung für Mitarbeiter, Gesellschaft und Umwelt tief in seiner DNA verankert. Ziel ist es, bis 2030 ein klimaneutrales Unternehmen zu werden.

 

Über die Carl-Zeiss-Stiftung

Die Carl-Zeiss-Stiftung hat sich zum Ziel gesetzt, Freiräume für wissenschaftliche Durchbrüche zu schaffen. Als Partner exzellenter Wissenschaft unterstützt sie sowohl Grundlagenforschung als auch anwendungsorientierte Forschung und Lehre in den MINT-Fachbereichen (Mathematik, Informatik, Naturwissenschaften und Technik). 1889 von dem Physiker und Mathematiker Ernst Abbe gegründet, ist die Carl-Zeiss-Stiftung eine der ältesten und größten privaten wissenschaftsfördernden Stiftungen in Deutschland. Sie ist alleinige Eigentümerin der Carl Zeiss AG und SCHOTT AG. Ihre Projekte werden aus den Dividendenausschüttungen der beiden Stiftungsunternehmen finanziert.

Letzte Änderung: 19.07.2021